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產(chǎn)品類別:超聲波掃描顯微鏡C-SAM
產(chǎn)品型號:S500
超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業(yè)需求。
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產(chǎn)品特點:
1、 具備A(點掃描)、B(縱向掃描)、C(橫向掃描)、透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項)、多層掃描、Tray-托盤掃描,厚度測量等系列掃描模式。
2、 具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;具備缺陷尺寸標識;厚度與測距等功能。
3、 具備圖像著色功能,可根據(jù)相位翻轉(zhuǎn)自動著色;可根據(jù)灰度等級手動著色;可根據(jù)厚度變化,自動著色;
4、 適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。
5、 可兼容1~230MHz的超聲探頭。
6、 檢測軟件自主研發(fā),中英文界面,可根據(jù)客戶需求對功能進行持續(xù)升級。
行業(yè)應用:
適用于塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊、金剛石復合片、電器焊接件、陶瓷材料等領(lǐng)域的缺陷分析。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品主要配置
超聲波掃描顯微鏡SAM 800
超聲波掃描顯微鏡SAM 600
超聲波掃描顯微鏡SAM 300
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