集成電路芯片檢測(cè)有很多種,其中X-ray檢測(cè)是非常重要的一種。因?yàn)镮C芯片比較精密,所以主要由微電子器件或元器件組成。采用一定的工藝,在一個(gè)電路中需要的元件和布線,如晶體管、二極管、電阻、電容、電感等,互連在一起,制作在一小塊或幾塊半導(dǎo)體芯片或介質(zhì)基片上,然后封裝在管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微結(jié)構(gòu);所有的元件在結(jié)構(gòu)上形成了一個(gè)整體,使電子元件向小型化、低功耗、高可靠性邁進(jìn)了一大步。然而,電路越復(fù)雜,越難以檢測(cè)。
X-ray檢測(cè)設(shè)備主要依靠?jī)?nèi)部的X射線管發(fā)射X射線照射IC芯片進(jìn)行成像,X射線具有感光作用。像可見(jiàn)光一樣,x射線能使膠片感光。膠片的靈敏度與X射線量成正比。當(dāng)X射線通過(guò)IC芯片時(shí),由于芯片中不同組織的密度不同,對(duì)X射線量的吸收不同,在膠片上獲得的靈敏度也不同,從而獲得X射線圖像。
作為市場(chǎng)上應(yīng)用最廣泛的產(chǎn)品,IC芯片質(zhì)量的重要性可想而知。面對(duì)市面上外形非常逼真但內(nèi)部結(jié)構(gòu)有缺陷的IC芯片,顯然無(wú)法通過(guò)肉眼檢查。不同之處在于,只有經(jīng)過(guò)X-ray檢測(cè)設(shè)備的準(zhǔn)確高效檢測(cè),才能很好地檢測(cè)出這些缺陷,從而保護(hù)IC芯片的質(zhì)量。
為了滿足要求,無(wú)損檢測(cè)新技術(shù)不斷創(chuàng)新。自動(dòng)X射線無(wú)損檢測(cè)技術(shù)的應(yīng)用就是[敏感詞]的例子之一。它不僅可以檢查看不見(jiàn)的焊點(diǎn)(如BGA),還可以對(duì)檢查結(jié)果進(jìn)行定性分析。定量分析便于早期發(fā)現(xiàn)問(wèn)題。因此,更多的公司需要X-ray檢測(cè)設(shè)備來(lái)提高產(chǎn)品質(zhì)量。
X-ray無(wú)損檢測(cè)技術(shù)具有明顯的特點(diǎn):基于對(duì)各種無(wú)損檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備的了解,X-ray無(wú)損檢測(cè)技術(shù)比其他無(wú)損檢測(cè)技術(shù)更具優(yōu)勢(shì)。可以完善大家的檢測(cè)系統(tǒng)。為大家提供合理的檢驗(yàn)方法,提高“一次通過(guò)率”,努力實(shí)現(xiàn)“零缺陷”的目標(biāo)。
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